Гаджеты и устройства12.09.2026, 01:154 мин чтенияНОВОСТЬ

Samsung и TSMC переходят на High-NA EUV от ASML и меняют стандарт фотомасок

Производители чипов договорились с Intel и ASML о переходе с 6-дюймовых фотомасок на 12-дюймовые — это может повысить производительность новых литографов на 40%

Литографическая машина ASML для производства чипов
КРАТКО

Что нужно знать

  • Samsung и TSMC объявили о планах внедрить High-NA EUV-машины ASML стоимостью до $400 млн за единицу.
  • Samsung планирует выпускать чипы памяти на High-NA EUV к 2028 году, TSMC — передовые чипы для клиентов с 2030 года.
  • Intel уже использует High-NA EUV в серийном производстве процессоров Panther Lake с июля 2026 года.
  • Samsung, TSMC, Intel и ASML работают над переходом с 6-дюймовых фотомасок на 12-дюймовые, что может повысить производительность на 40%.
  • SK Hynix рассматривает присоединение к консорциуму и планирует выпуск памяти на High-NA EUV с 2028 года.
  • ASML остается единственным поставщиком таких машин, а экспорт большинства из них в Китай ограничен.
ИсточникArs Technica ↗

Ведущие производители чипов Samsung Electronics и Taiwan Semiconductor Manufacturing Co. (TSMC) объявили о планах внедрить новейшие литографические машины ASML в ближайшие несколько лет. Одновременно они присоединились к Intel, согласившись на важное технологическое изменение, которое может повысить производительность производства чипов на новых машинах на 40%. Об этом сообщает Ars Technica со ссылкой на Bloomberg.

Речь идет о более широком принятии отраслью технологии High-NA EUV-фотолитографии. Такие машины стоят до $400 млн за единицу, и их поставляет только нидерландская компания ASML. Технология позволяет проектировать еще меньшие элементы в потенциально более мощных и эффективных чипах следующего поколения — для AI-дата-центров и потребительской электроники: смартфонов, планшетов и ноутбуков.

Что такое EUV и High-NA

Литографические машины ASML на основе EUV (extreme ultraviolet, экстремальный ультрафиолет) позволяют производителям чипов использовать мощный лазерный свет, чтобы послойно наносить рисунок на кремниевые пластины и постепенно формировать схемы, заставляющие чип работать. По сравнению с более старой глубокой ультрафиолетовой литографией (deep ultraviolet) EUV использует более мощный источник света с меньшей длиной волны, что позволяет создавать на пластинах еще меньшие элементы.

Это потребовало разработки чрезвычайно сложной системы лазеров, которые непрерывно превращают расплавленное олово в плазму при температуре около 200 000 °C, а также зеркал, собирающих свет из плазмы и направляющих его в литографический инструмент размером с автобус, который проецирует замысловатые схемы на кремниевые пластины. Об этом писали исследователи ASML для IEEE Spectrum. Новейшие машины ASML с высокой числовой апертурой (High-NA) EUV используют более крупные зеркала и улучшенную оптическую систему, чтобы точнее собирать и фокусировать свет.

Сроки внедрения у Samsung, TSMC и Intel

  • Южнокорейская Samsung планирует использовать High-NA EUV-машины ASML для производства чипов памяти к 2028 году.
  • Тайваньская TSMC намерена применять технологию для выпуска самых передовых чипов для своих клиентов — включая AMD, Apple, Nvidia и Qualcomm — начиная с 2030 года.
  • Intel уже начала внедрять High-NA EUV-машины в производство чипов. Американская компания использовала технологию в серийном производстве процессоров Panther Lake для мобильных устройств начиная с июля 2026 года.

Смена стандарта фотомасок

Samsung и TSMC теперь вместе с Intel и ASML работают над изменением отраслевого стандарта для фотомасок — трафаретов, которые задают замысловатые схемы, наносимые на кремний. Речь идет о переходе с 6-дюймовых фотомасок на 12-дюймовые. По словам технического директора ASML Марко Питерса, которого цитирует Bloomberg, этот сдвиг в итоге может повысить производительность производства на High-NA EUV-машинах на 40%.

Южнокорейский производитель памяти SK Hynix также рассматривает возможность присоединиться к отраслевому консорциуму, курирующему переход на более крупные 12-дюймовые фотомаски, сообщил Bloomberg представитель компании. Как и Samsung, SK Hynix намерена начать выпуск чипов памяти с использованием High-NA EUV-технологии начиная с 2028 года.

Контекст: спрос на AI и конкуренция с Китаем

Улучшение производства чипов стало бизнес-императивом, пока продолжает раздуваться «пузырь» AI. Стремление технологических компаний строить новые AI-дата-центры также способствовало глобальному дефициту чипов памяти, что повысило цены на смартфоны, ноутбуки и игровые машины.

При этом важность машин ASML для передового производства чипов стала ключевым вопросом в продолжающемся технологическом соперничестве США и Китая. ASML по-прежнему поставляет китайским компаниям, таким как Semiconductor Manufacturing International Corporation (SMIC), литографические машины предыдущего поколения на глубоком ультрафиолете, но ей запрещено экспортировать в Китай большинство своих машин для производства чипов — из-за ограничений нидерландского правительства и политического давления США.

Несмотря на недоказанные обвинения американского правительства в том, что Китай сумел получить одну из EUV-литографических машин ASML, китайским компаниям предстоит тяжелая борьба за разработку собственной версии технологии и цепочки поставок, необходимой для производства таких машин. Руководитель немецкой Zeiss Group — эксклюзивного поставщика зеркал и оптических систем для машин ASML — недавно предположил, что Китаю потребуется 15 лет на разработку EUV-литографических машин.

Ars Technica отмечает, что материал был обновлен 8 сентября 2026 года для уточнения описания EUV-технологии в сравнении с более старыми технологиями, такими как глубокая ультрафиолетовая литография.

Что это значит

Объявления Samsung и TSMC закрепляют High-NA EUV как следующий отраслевой стандарт для передового производства чипов, а согласие ключевых игроков на переход к 12-дюймовым фотомаскам указывает на попытку коллективно повысить отдачу от дорогостоящего оборудования. Конкретный эффект — рост производительности до 40% — пока заявлен как потенциал, а сроки внедрения у разных компаний различаются: от уже идущего использования у Intel до 2030 года у TSMC. Для рынка это означает дальнейшую концентрацию передовых литографических возможностей вокруг единственного поставщика — ASML, что сохраняет технологическую зависимость отрасли и остается предметом американо-китайского соперничества.

ВОПРОСЫ И ОТВЕТЫ

Коротко о главном

Сколько стоит одна машина High-NA EUV от ASML?

Стоимость может достигать $400 млн за единицу, и такие машины поставляет только нидерландская компания ASML.

Когда Samsung начнет использовать High-NA EUV для памяти?

Samsung планирует применять High-NA EUV-машины ASML для производства чипов памяти к 2028 году.

Когда TSMC начнет выпускать чипы на High-NA EUV?

TSMC намерена использовать технологию для производства самых передовых чипов для клиентов, включая AMD, Apple, Nvidia и Qualcomm, начиная с 2030 года.

Какой выигрыш в производительности дает переход на 12-дюймовые фотомаски?

По словам технического директора ASML Марко Питерса, переход с 6-дюймовых на 12-дюймовые фотомаски может в итоге повысить производительность производства на High-NA EUV-машинах на 40%.

Кто уже использует High-NA EUV в производстве?

Intel уже начала внедрять High-NA EUV-машины и использовала технологию в серийном производстве процессоров Panther Lake для мобильных устройств начиная с июля 2026 года.

Рассматривает ли SK Hynix переход на High-NA EUV?

Да, SK Hynix рассматривает присоединение к отраслевому консорциуму по переходу на 12-дюймовые фотомаски и, как Samsung, намерена начать выпуск памяти на High-NA EUV с 2028 года.

Как подготовлен материал

Черновик был создан с помощью ИИ по указанному первоисточнику и опубликован в формате ITBlogs. Факты следует сверять с оригинальной публикацией.

С
АВТОР

Сергей

Администратор проекта

ОБСУЖДЕНИЕ

Комментарии · 0

Войдите, чтобы участвовать в обсуждении.