Китай начал выпуск установок для иммерсионной литографии

Что нужно знать

Китай запустил серийное производство установок для иммерсионной DUV-литографии.

Оборудование позволяет выпускать чипы по техпроцессу до 7 нм при многократной печати.

Первые поставки запланированы на 2026 год, к 2027 году планируется выпустить около 20 установок.

Китайские установки уступают системам ASML по качеству и производительности.

Китай запустил серийное производство установок для иммерсионной литографии в глубоком ультрафиолете (DUV). Об этом сообщает The Information со ссылкой на источники. Оборудование позволяет выпускать микросхемы по техпроцессу до 7 нм, что снизит зависимость китайских производителей от иностранных технологий.

Детали производства

Производство организовано неназванной государственной компанией в Шанхае. В проекте участвуют несколько команд китайских разработчиков, включая поддерживаемый государством стартап Shanghai Yuliangsheng Technology. Другие участники не раскрываются.

Иммерсионная DUV-литография — метод «печати» микросхем с помощью лазера. За одну итерацию технология позволяет создавать элементы по технологии 28 нм, но при многократной печати можно выпускать чипы до 7 нм, отмечает Tom's Hardware.

Компоненты и поставки

Большинство компонентов в установках китайского производства, однако некоторые критически важные детали по-прежнему закупаются в Японии, сообщают источники.

Китайский производитель чипов SMIC тестировал оборудование от Shanghai Yuliangsheng с 2025 года. Первые серийные образцы планируется начать поставлять местным производителям микросхем в 2026 году. К 2027 году китайская сторона рассчитывает выпустить около 20 установок.

Сравнение с ASML

Для сравнения, ведущий мировой производитель литографических систем, голландская ASML, планирует выпустить порядка 130 установок в 2026 году. В 2027 году компания собирается нарастить мощности на 30%. Сейчас ASML занимает более 90% рынка.

По данным The Information, китайские установки пока уступают системам ASML по качеству и производительности. Кроме того, их настройка для серийного выпуска чипов может занять до нескольких месяцев.

Что это значит

Запуск серийного производства иммерсионных литографических установок в Китае — важный шаг для снижения зависимости от иностранных технологий, однако по производительности и качеству китайское оборудование пока отстает от лидера рынка ASML. Первые поставки начнутся в 2026 году, но для полноценного импортозамещения потребуется время.

Коротко о главном

Какая компания запустила производство установок для иммерсионной литографии в Китае?

Неназванная государственная компания в Шанхае, при участии стартапа Shanghai Yuliangsheng Technology.

Какой техпроцесс позволяют выпускать китайские установки?

При многократной печати — до 7 нм, за одну итерацию — 28 нм.

Когда планируются первые поставки оборудования?

В 2026 году.

Сколько установок Китай планирует выпустить к 2027 году?

Около 20.

Как китайские установки сравниваются с оборудованием ASML?

Они уступают по качеству и производительности, настройка может занять до нескольких месяцев.

Китай начал серийное производство установок для иммерсионной литографии для выпуска чипов до 7 нм